真空泵及其类型

    一个容器放在自然环境中.如果不改变其内部气体压强，那么容器内外部的气体压力达到平衡状态，在数值上等于大气压。要使容器内部达到真空状态，就必须排出容器内部的气体，使内部气体压强小于外部大气压。利用机械、物理、化学或物理化学的方法，把气体从容器中排出而获得真空的设备称为真空泵。真空泵按其工作原理的不同分为压缩型(变容型)和吸附型两类。压缩型真空泵工作原理是将泵的入口端的气体压缩到出口端，并排出至泵外。常见压缩型真空泵有:利用膨胀一压缩一排出过程的旋转式机械泵，利用涡轮叶片排除气体的涡轮分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是将气体吸附在泵体内，已达到降低气体压强的目的。常见吸附型真空泵有:利用电离吸气作用的离子泵，利用物理或化学吸附作用的吸附泵、吸气泵和低温冷凝泵等。吸附型真空泵与压缩型真空泵最大不同是，吸附型真空泵并不是将气体排出泵外，而是贮存在泵内，前者所能达到的真空度比后者高，但抽速小，适用容器也较小。真空电阻炉采用的是压缩型真空泵，例如机械泵、罗茨泵以及扩散泵等。

    各类真空泵都有自己的工作范围，有的泵可以直接从大气状态下开始工作，如机械泵、吸附泵，有些泵就不能直接从大气状态下开始工作，如扩散泵、分子泵、离子泵等，入口真空度必须达到一定数值时，才能开始工作。

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